[发明专利]真空泵及泵一体型的电源装置有效

专利信息
申请号: 201810008472.X 申请日: 2018-01-04
公开(公告)号: CN108661926B 公开(公告)日: 2021-01-19
发明(设计)人: 森山伸彦 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F04D25/06;F04D29/58
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 日本京都府京都*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种真空泵及泵一体型的电源装置。当利用多个加热器对泵单元的加热对象部位进行加热时,使内置有加热器控制部的电源装置小型化。真空泵包括:泵单元(100),包含泵马达(101),并包含排出经吸入的气体的排气功能部、及至少两个直流加热器(51)、直流加热器(54);以及泵一体型的电源装置,内置有泵控制部(201)、对泵控制部(201)供给电力的泵用电源(206)、对两个直流加热器(51)、直流加热器(54)进行控制的直流加热器控制部(203)、及对直流加热器控制部(203)供给电力的直流加热器电源(205)。
搜索关键词: 真空泵 体型 电源 装置
【主权项】:
1.一种真空泵,其特征在于包括:泵单元,包含泵马达,并包含排出经吸入的气体的排气功能部、及至少两个直流加热器;以及泵一体型的电源装置,内置有泵控制部、对所述泵控制部供给电力的泵用电源、对所述两个直流加热器进行控制的直流加热器控制部、及对所述直流加热器控制部供给电力的直流加热器电源。
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