[发明专利]一种防金属蒸气污染的电子束成形制造视觉监控系统有效
| 申请号： | 201810009429.5 | 申请日： | 2018-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN108174161B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 都东;常树鹤;王力;洪宇翔;戢仁和;张昊宇;彭国栋;魏昂昂 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H04N7/18 | 分类号： | H04N7/18;H04N5/235 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种防金属蒸气污染的电子束成形制造视觉监控系统，属于电子束成形制造监控技术领域。本监控系统包括金属蒸气防污染系统、光学观察系统和相机冷却套筒，利用电机带动一组吸附扇叶高速旋转，对电子束加工过程中产生的金属蒸气进行有效的吸附，以避免金属蒸气对视觉监控系统中的光学器件产生污染，从而实现对电子束加工过程的稳定可靠监控。通过控制视觉监控系统中的工业相机曝光触发时间，使其在相邻两片扇叶先后经过镜头的光轴之间时进行同步成像，以避免扇叶对光路产生遮挡。本监控系统结构简单，成本低，适用于对任意具有较强金属蒸气污染的加工过程进行有效的视觉监控。 | ||
| 搜索关键词： | 金属蒸气 视觉监控系统 电子束成形 扇叶 电子束加工 污染 吸附 制造 光学观察系统 监控技术领域 监控系统结构 电机带动 工业相机 光学器件 监控系统 冷却套筒 视觉监控 同步成像 防污染 触发 光轴 遮挡 相机 镜头 曝光 监控 | ||
【主权项】：
1.一种防金属蒸气污染的电子束成形制造视觉监控系统，其特征在于该监控系统包括金属蒸气防污染系统、光学观察系统和相机冷却套筒(5)，所述的金属蒸气防污染系统包括扇叶组(1)、电机(3)和防污染套筒(2)，扇叶组(1)和电机(3)同轴安装在防污染套筒(2)内，防污染套筒(2)的一端为前盖板(15)，前盖板(15)上设有窥孔(14)，防污染套筒(2)的另一端通过电机固定板(4)与相机冷却套筒(5)的一侧相对固定，电机固定板(4)上安装有观察窗，观察窗的一侧为光学石英玻璃(13)，观察窗的另一侧为玻璃压片(12)，玻璃压片(12)通过螺栓将光学石英玻璃(13)压紧在电机固定板(4)上；相机冷却套筒(5)的另一侧安装有上后盖板(16)和下后盖板(18)；所述的光学观察系统包括工业相机(10)、镜头(11)、相机数据线(7)和相机电源线(17)，所述的工业相机(10)安装在相机冷却套筒(5)内，相机数据线(7)和相机电源线(17)安装在下后盖板(18)上；所述的工业相机(10)、镜头(11)、光学石英玻璃(13)和窥孔(14)位于同一轴线上；所述的相机冷却套筒(5)的下后盖板(18)上设有进气口(8)和出气口(9)。
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