[发明专利]半导体装置封装及制造半导体装置封装的方法有效

专利信息
申请号: 201810009886.4 申请日: 2018-01-05
公开(公告)号: CN109755212B 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 吕文隆 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L23/498 分类号: H01L23/498;H01L21/48
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 蕭輔寬
地址: 中国台湾高雄市楠梓*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明的至少一些实施例涉及一种用于封装半导体装置的衬底。所述衬底包含第一介电层,其具有第一表面及与所述第一表面相对的第二表面;第一经图案化导电层,其邻近于所述第一介电层的所述第一表面;第二经图案化导电层,其邻近于所述第一介电层的所述第二表面且电连接到所述第一经图案化导电层,以及外部连接垫,其从顶部表面到底部表面渐缩。所述第二经图案化导电层包含垫及邻近于所述垫的迹线。所述外部连接垫安置在所述第二经图案化导电层的所述垫上。所述外部连接垫的底部宽度大于或等于所述第二经图案化导电层的所述垫的宽度。
搜索关键词: 半导体 装置 封装 制造 方法
【主权项】:
1.一种衬底,其包括:第一介电层,其具有第一表面及与所述第一表面相对的第二表面;第一经图案化导电层,其邻近于所述第一介电层的所述第一表面;第二经图案化导电层,其邻近于所述第一介电层的所述第二表面且电连接到所述第一经图案化导电层,所述第二经图案化导电层包括垫及邻近于所述垫的迹线;以及外部连接垫,其从顶部表面到底部表面渐缩,所述外部连接垫安置在所述第二经图案化导电层的所述垫上,其中所述外部连接垫的底部宽度大于或约等于所述第二经图案化导电层的所述垫的宽度。
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