[发明专利]靶材轧制方法在审
| 申请号： | 201810011222.1 | 申请日： | 2018-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN110000211A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;陈金库 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B21B3/00 | 分类号： | B21B3/00;B21B45/00;B21B1/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高磊;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材轧制方法，包括：提供靶材坯料；将所述靶材坯料加热至第一温度；在将所述靶材坯料加热至第一温度后，对所述靶材坯料进行压延处理；在所述压延处理过程中，当所述靶材坯料温度降低至第二温度时，对靶材坯料进行加热处理，将所述靶材坯料加热至第一温度后进行所述压延处理；交替进行所述加热处理及所述压延处理，直至将所述靶材坯料制成靶材。本发明能够防止所述靶材坯料在进行所述压延处理过程中出现裂纹，从而可提高所述靶材的轧制质量，改善所述靶材的溅射性能。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材坯料 压延处理 靶材 轧制 加热 加热处理 温度降低 对靶 溅射 坯料 | ||
【主权项】：
1.一种靶材轧制方法，其特征在于，包括：提供靶材坯料；将所述靶材坯料加热至第一温度；在将所述靶材坯料加热至第一温度后，对所述靶材坯料进行压延处理；在所述压延处理过程中，当所述靶材坯料温度降低至第二温度时，对靶材坯料进行加热处理，将所述靶材坯料加热至第一温度后进行所述压延处理；交替进行所述加热处理及所述压延处理，直至将所述靶材坯料制成靶材。
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