[发明专利]一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201810014856.2 | 申请日： | 2018-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN108226825B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 文玉梅;李平;卞雷祥 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01R33/10 | 分类号： | G01R33/10;G01R33/06;G01R33/00;H01F41/14;H01F41/04;H01F41/32 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 孟旭彤 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器及其制备方法，在两层软磁材料层之间设置至少一平面线圈结构，所述软磁材料层和所述平面线圈结构依次层叠布设，贴合固定；两层所述软磁材料层均完全覆盖所述平面线圈结构；所述平面线圈结构包括绝缘基层、平面线圈导体和绝缘层；所述平面线圈导体固定在所述绝缘基层上，所述平面线圈导体表面涂覆所述绝缘层；所述软磁材料层的厚度大于所述平面线圈导体的宽度。本发明采用软磁薄膜带材制备软磁薄膜，薄膜和平面线圈复合构成磁传感器，工艺简单，制备方便，充分利用软磁非晶、软磁纳米晶薄膜带材材料的优良磁性能，制备的磁传感器具有高敏感度和低噪声性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 平面 线圈 复合 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器，其特征在于，在两层软磁材料层之间设置至少一平面线圈结构，所述软磁材料层和所述平面线圈结构依次层叠布设，贴合固定；两层所述软磁材料层均完全覆盖所述平面线圈结构；所述平面线圈结构包括绝缘基层、平面线圈导体和绝缘层；所述平面线圈导体固定在所述绝缘基层上，所述平面线圈导体表面涂覆所述绝缘层；所述软磁材料层的厚度大于所述平面线圈导体的宽度。
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