[发明专利]RFMEMS滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810014898.6 | 申请日： | 2018-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN107979353A | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 汪泉;张树民;王国浩 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/46 | 分类号： | H03H9/46 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙)11226 | 代理人： | 常玉明,张兰海 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出一种RF MEMS滤波器，包括硅衬底或者压电基板；沉积在所述硅衬底上的压电薄膜；沉积于压电基板或者压电薄膜上的金属电极；填充于金属电极之间的绝缘层，以及沉积于金属电极和绝缘层上的压电层，以此实现声表面波(SAW)滤波；沉积于上述压电层上的温度补偿层。本发明使用了双压电层，可以通过压电层材料的搭配以及薄膜晶体取向和厚度控制，调节器件的机电耦合性能；同时相比于传统的单压电层SAW，在获得相同频率器件的过程中可有效降低对光刻的线宽要求。 | ||
| 搜索关键词： | rfmems 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种RF MEMS滤波器，其特征在于，包括：第一压电层；设置在所述第一压电层上的金属电极；填充于所述金属电极之间的介质层；以及设置于所述金属电极和所述介质层上的第二压电层。
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