[发明专利]流量控制方法及装置、反应腔室

摘要

本发明提供了一种流量控制方法及装置、反应腔室，其通过向其中一个工艺腔室的第二控制单元发送工艺使能信号，并使第二控制单元根据工艺使能信号，与第一控制单元联网，以能够通过第二控制单元将目标流量值发送至第一控制单元，从而实现自动控制第一控制单元将公共流路向至少一个进行工艺的工艺腔室中通入的公共流体的流量调节至目标流量值，而无需人工配置，进而提高了控制精确性。

主权项

1.一种流量控制方法，用于控制第一控制单元调节公共流路向至少一个进行工艺的工艺腔室中通入的公共流体的流量，其特征在于，包括：向其中一个所述工艺腔室的第二控制单元发送工艺使能信号，所述第二控制单元用于调节向所述工艺腔室通入的公共流体的流量；所述第二控制单元根据所述工艺使能信号，与所述第一控制单元联网；向所述第二控制单元发送所述公共流体的目标流量值；所述第二控制单元将所述目标流量值发送至所述第一控制单元；所述第一控制单元将所述公共流路向至少一个进行工艺的工艺腔室中通入的公共流体的流量调节至所述目标流量值。