[发明专利]金属玻璃微米箔电阻式应变传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810021200.3 | 申请日： | 2018-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN108328561A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 赵杨勇;王俊;高海燕;鞠江;康茂东 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01B7/16 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种金属玻璃箔材的电阻式应变传感器及其制备方法，所述传感器包括基底；位于所述基底上的金属玻璃敏感栅；覆盖于所述金属玻璃敏感栅上的覆盖层；其中：所述金属玻璃敏感栅由金属玻璃箔材制备得到。所述方法包括：制备胶膜基底；光刻制备金属玻璃敏感栅；覆盖保护膜；焊接引出线。本发明利用金属玻璃箔材作为敏感材料以提高商业化的传统箔式应变传感器的量程和性能，实现理想电阻式应变传感器；本发明制备工艺与现有箔式应变片生产工艺兼容，为其商业化推广带来便利。 | ||
| 搜索关键词： | 金属玻璃 应变传感器 敏感栅 制备 箔材 基底 电阻式 发明制备工艺 箔式应变片 理想电阻 敏感材料 保护膜 传感器 覆盖层 引出线 刻制 覆盖 胶膜 量程 生产工艺 焊接 兼容 便利 | ||
【主权项】：
1.一种金属玻璃微米箔电阻式应变传感器，其特征在于，包括：基底；位于所述基底上的金属玻璃敏感栅；覆盖于所述金属玻璃敏感栅上的覆盖层；其中：所述金属玻璃敏感栅由金属玻璃箔材制备得到。
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