[发明专利]一种抛光机及抛光方法

摘要

本发明涉及抛光技术领域，公开了一种抛光机及抛光方法。本发明的抛光机具有刀头的抛光组件、用于承载工件的工作台、驱动机构、刀具位置传感器、探针以及控制器。具有抛光精度高、自动化程度高的优点。本发明的抛光方法包括利用探针抵接待抛光表面，检测待抛光表面的高度位置；利用刀头从高度方向上接触刀具位置传感器，确定刀头的高度位置；最后利用控制器收集待抛光表面和刀头的高度位置信息，计算与刀头底部与待抛光表面的相对位置，并控制刀头移动到待抛光表面进行抛光。该方法通过利用探针接触式地测量待抛光面处的高度位置(或厚度)能够准确的判断刀头在高度方向上所需移动的距离，从而使得抛光精度高。

主权项

1.一种抛光机，其特征在于，所述抛光机包括：用于抛光工件的抛光组件，所述抛光组件具有刀头；工作台，所述工作台具有用于承载工件的承载面；驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述抛光组件相对于所述工作台移动；与所述工作台保持相对固定的刀具位置传感器，所述刀具位置传感器用于检测所述抛光组件的刀头在第一预设方向上的高度位置；探针，所述探针连接于所述抛光组件，所述探针用于从所述第一预设方向上与所述工件的待抛光表面接触，来测检测所述待抛光表面在所述第一预设方向上的位置；控制器，所述驱动机构、所述抛光组件位置感应器以及所述探针电连接，所述控制器用于接收所述刀具位置传感器以及所述探针所采集的位置信息，并控制所述驱动机构驱动所述抛光组件对所述工件进行抛光。