[发明专利]一种背接触异质结太阳能电池制作方法

摘要

本发明公开了一种背接触异质结太阳能电池制作方法，所述方法包括在硅片的正面依次镀第一本征非晶硅层、第一N型非晶硅层、一层增透层，硅片的背面依次镀第二本征非晶硅层、第二N型非晶硅层、第一透明导电膜层、一层绝缘层后印刷第一、第二、第三蚀刻油墨反应后再次镀层处理等步骤。本发明采用印刷技术形成指状交叉排列的载流子收集层，与光刻技术和掩膜技术对比，工艺流程大幅减少，更适合于大规模化量产；同时，本发明在硅片背面N型非晶硅表面先镀一层透明导电膜层，之后镀一层绝缘层保护，大幅增加背面N型非晶硅与导电膜层的接触面积，从而大幅降低电池的串联电阻，进而提高了电池的转换效率。

主权项

1.一种背接触异质结太阳能电池制作方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：提供制绒清洗形成绒面的N型硅片；在硅片的正面依次镀第一本征非晶硅层、第一N型非晶硅层、一层增透层；在硅片的背面依次镀第二本征非晶硅层、第二N型非晶硅层、第一透明导电膜层、一层绝缘层；在硅片的背面印刷第一蚀刻油墨，反应后经过清洗去除印刷区域的绝缘层、第一透明导电膜、第二N型非晶硅层、第二本征非晶硅层；通过清洗溶液清洗后，在硅片背面依次镀第三本征非晶硅层、第一P型非晶硅层；在硅片的背面绝缘层局部区域印刷第二蚀刻油墨，反应后经过清洗去除印刷区域的第一P型非晶硅层、第三本征非晶硅层、绝缘层；在硅片的背面镀第二透明导电膜层；在硅片的背面绝缘层局部区域印刷第三蚀刻油墨，反应后经过清洗去除印刷区域的第二透明导电膜层；在硅片的背面镀一层种子铜层；在硅片的背面印刷一层耐电镀油墨形成栅线图案；在硅片的背面栅线图案区域电镀铜，形成铜栅线电极；通过去膜溶液，去除硅片背面的耐电镀油墨及种子铜。