[发明专利]一种蒸发镀膜材料NbO2及其制备方法在审
| 申请号： | 201810026485.X | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN110029310A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 徐川 | 申请（专利权）人： | 北京优美科巨玻薄膜产品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通州区中关村*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸发镀膜材料NbO2，并提供了一种制备方法。蒸发镀膜材料NbO2其主要成分为包括氧化铌和三氧化二铝的混合物，所述氧化铌与三氧化二铝混合物的比例为99％～90％∶1％～10％。所述混合物是将所述氧化铌和所述三氧化二铝以及还原剂按比例搅拌混合后经过真空熔炼而成。所述材料用于以真空蒸发镀膜的方式制备Nb2O5薄膜。该薄膜用于光学滤光片/高反射薄膜的制备。本发明提供的制备方法，由于使用了C做还原剂，同时掺杂了Al2O3可以有效降低材料熔点，降低了生产成本。相对于使用传统的Nb2O5镀膜材料而言，使用本发明所述材料进行蒸发镀膜制备Nb2O5薄膜时，可以有效的提高薄膜表面光洁度；对于提高薄膜产品的良品率有极大的帮助。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 蒸发镀膜材料 三氧化二铝 混合物 氧化铌 薄膜 还原剂 光洁度 真空蒸发镀膜 高反射薄膜 光学滤光片 薄膜表面 薄膜产品 材料熔点 镀膜材料 真空熔炼 蒸发镀膜 传统的 良品率 生产成本 掺杂 帮助 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发镀膜材料NbO2，其特征在于，其主要成分为包括氧化铌和氧化铝的混合物，所述氧化铌与三氧化二铝混合物的比例为99.5％～90％∶0.5％～10％。所述混合物是将所述氧化铌和所述三氧化二铝按比例搅拌混合后经过真空熔炼而成。
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