[发明专利]掩模清洗液组合物及其制造方法、及掩模清洗液预组合物在审
| 申请号： | 201810026744.9 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN108659997A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 金圣植;金正铉;赵汉爀;高京俊 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/60 | 分类号： | C11D7/60;C11D7/26;C11D7/10;C11D7/18;C11D7/34;C11D7/32;C11D7/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供掩模清洗液组合物、掩模清洗液预组合物及掩模清洗液组合物的制造方法，所述掩模清洗液组合物包含含有羟基的碱性化合物、铵盐化合物、有机酸、过氧化氢和水。上述组合物提供不损伤掩模、并且通过氧化和溶解过程而快速去除蒸镀于掩模上的金属的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模 清洗液组合物 预组合物 清洗液 碱性化合物 铵盐化合物 过氧化氢 快速去除 溶解过程 有机酸 蒸镀 羟基 制造 损伤 金属 | ||
【主权项】：
1.一种掩模清洗液组合物，其包含含有羟基的碱性化合物、铵盐化合物、有机酸、过氧化氢和水。
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