[发明专利]光斑形状检测装置

摘要

提供光斑形状检测装置，在短时间内高效地对从激光振荡器照射的激光光线的准确的光斑形状进行检测。光斑形状检测装置(1)对从激光振荡器(30)振荡出的激光光线(LB1)的光斑形状进行检测，其中，该光斑形状检测装置具有：聚光透镜(31)，其对激光振荡器所振荡的激光光线进行会聚；旋转体(镜保持器6)，其将对通过了聚光透镜的激光光线进行反射的多个镜(6a’～6q’)配设在同心圆上；驱动源(电动机7)，其使旋转体按照规定的周期进行旋转；分束器(32)，其对由旋转体的多个镜反射的激光光线的返回光(LB2)进行分支；拍摄组件(33)，其配设在返回光借助分束器而分支的方向上，对返回光的光斑形状进行拍摄；以及显示单元(m)，其使由拍摄组件拍摄的图像与多个镜相关联地进行显示。

主权项

1.一种光斑形状检测装置，其对从激光振荡器振荡出的激光光线的光斑形状进行检测，其中，该光斑形状检测装置包含：聚光透镜，其对激光振荡器所振荡的激光光线进行会聚；旋转体，其将对通过了该聚光透镜的激光光线进行反射的多个镜配设在同心圆上；驱动源，其使该旋转体按照规定的周期进行旋转；分束器，其对该旋转体的该多个镜所反射的激光光线的返回光进行分支；拍摄组件，其配设在该返回光借助该分束器而分支的方向上，对该返回光的光斑形状进行拍摄；以及显示组件，其对由该拍摄组件拍摄的图像与该多个镜相关联地进行显示，该多个镜按照如下方式配设在该旋转体上：当使该旋转体向规定的方向旋转时，由该多个镜依次进行反射的激光光线的返回光的聚光点逐渐接近该拍摄组件的拍摄位置，并达到该拍摄位置，并从该拍摄位置逐渐远离。