[发明专利]晶圆干燥装置

摘要

本发明公开了一种晶圆干燥装置，晶圆干燥装置包括底座、储液池、晶圆驱动模组、晶圆干燥模组及调整模组。储液池设在底座上，储液池内适于装载去离子水。晶圆驱动模组设在底座上，晶圆驱动模组用于驱动晶圆升降。晶圆干燥模组用于朝向脱离液面的晶圆与去离子水形成的弯月面处喷射低表面张力物质，诱发沿弯面向下的Marangoni流动，促使晶圆表面吸附水膜的剥离，从而实现晶圆干燥。调整模组用于调整晶圆干燥模组朝向晶圆喷射低表面张力物质的喷射参数。根据本发明实施例的晶圆干燥装置，能够方便地调整晶圆干燥的相关参数，有利于分析各喷射工艺参数对干燥效果的影响机制，加深对晶圆干燥机理的认识。

主权项

1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括：底座；储液池，所述储液池设在所述底座上，所述储液池内适于装载去离子水；晶圆驱动模组，所述晶圆驱动模组设在所述底座上，所述晶圆驱动模组用于驱动晶圆升降，以使所述晶圆在下降时可浸没在所述储液池内液面下方，使所述晶圆在上升时可脱离液面；晶圆干燥模组，所述晶圆干燥模组用于朝向脱离液面的所述晶圆与去离子水形成的弯月面处喷射低表面张力物质；调整模组，所述调整模组用于调整所述晶圆干燥模组朝向所述晶圆与去离子水形成的弯月面处喷射所述低表面张力物质的喷射参数。