[发明专利]一种八边形多晶硅铸锭的制造方法及其制造设备

摘要

本发明涉及一种八边形多晶硅铸锭的制造方法及其制造设备，通过将石英坩埚设计成八边形，同时设置保温结构、加热结构及护板结构，其可以使铸锭炉设备上提高产量40％，并大幅提高加热效率，降低单位产品能耗40％以上，以上两个方面的作用可导致太阳能电池发电成本大幅下降，为太阳能发电平价上网做出突出贡献，与现有四方形硅锭相比，八边形硅锭在四个角部的方棒受氧原子扩散的影响明显降低，降低了后期电池片的光致衰减，提高了太阳能电池的效率。

主权项

1.一种八边形多晶硅铸锭的制造方法及其制造设备，其特征在于包括以下步骤：第一步：将硅料装入八边形石英坩埚中，然后在所述八边形石英坩埚的外周包覆多块侧护板及角护板，各侧护板及角护板围合形成八边形护板结构；第二步：然后将带有八边形护板结构的八边形石英坩埚放入带有八边形保温结构的铸锭炉内；第三步：对铸锭炉内部进行抽真空至1-3Pa；第四步：通过电极、加热结构对石英坩埚内部的硅料进行加热至1175-1500℃；第五步：通过电极、加热结构对对石英坩埚内部的硅料进行加热至充分熔化，加热温度为1540-1560℃；第六步：对充分熔化后的硅料降温并进入晶体生长阶段，结晶的速度为0.8cm/h-1.5cm/h；第七步：对结晶完成后的硅锭进行退火，退火温度为1100℃-1300℃；第八步：最后将退火完成的硅锭冷却至400℃以下出炉。