[发明专利]圆筒形防溅射靶在审
| 申请号： | 201810031016.7 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108216697A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 凌桂龙;李晶华;夏勇 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | B64G7/00 | 分类号： | B64G7/00;F28D21/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 孙辉 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统技术领域，尤其涉及一种圆筒形防溅射靶。圆筒形防溅射靶包括圆筒形防溅射靶骨架主体和圆筒形防溅射靶翅片组；圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；第一冷却管呈环形，第一冷却管有多个；多个第一冷却管通过第一管和第二管固定连接，形成圆筒形，且第一管、第二管和多个第一冷却管之间均连通；第一管上连接有第一进液口，第二管上连接有第一出液口；圆筒形防溅射靶翅片组与第一冷却管连接，形成圆筒形的侧壁。本发明在于提供一种圆筒形防溅射靶，以解决现有技术中存在的防溅射靶对溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 防溅射 圆筒形 冷却管 第二管 骨架主体 靶翅 片组 环境模拟设备 系统技术领域 等离子空间 出液口 电推进 进液口 侧壁 返流 溅射 连通 污染物 试验 | ||
【主权项】：
1.一种圆筒形防溅射靶，其特征在于，包括圆筒形防溅射靶骨架主体和圆筒形防溅射靶翅片组；所述圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；所述第一冷却管呈环形，且所述第一冷却管有多个，多个所述第一冷却管的轴线方向重合；多个所述第一冷却管通过所述第一管和所述第二管固定连接，形成圆筒形，且所述第一管、所述第二管和多个所述第一冷却管之间均相连通；所述第一管上连接有第一进液口，所述第二管上连接有第一出液口；所述圆筒形防溅射靶翅片组与所述第一冷却管连接，形成所述圆筒形的侧壁。
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