[发明专利]棱镜的镀膜方法

摘要

本发明公开了一种棱镜的镀膜方法，包括以下步骤：a)清洗基体；b)固定；c)蒸镀前准备；d)镀制；e)取件。本发明对棱镜的表面先进行除尘除油，然后再采用真空蒸发技术对棱镜的表面进行镀膜，方便控制镀膜的厚度，镀膜效果好。 1

主权项

1.一种棱镜的镀膜方法，其特征在于：包括以下步骤：

a)清洗基体：采用清洗液将棱镜欲镀膜表面清洗干净；

b)固定：在较亮的灯光下仔细观察没有污痕后放入夹具中固定，将夹具安装在工件架上；

c)蒸镀前准备：清理真空室，准备膜料并放置于水冷坩埚中，将水冷坩埚放置与基台上，将基台与工件架放入真空室内，将真空室抽真空，加热夹具，旋转工件架，预熔膜料；

d)镀制：达到要求的压强时便可打开挡板进行蒸镀，当膜达到需要的厚度时使用挡板挡住蒸发源，镀制完成；

e)取件：镀制完成后即停止加热并关闭高压阀门，让样品自然冷却，待真空室温度基本达到室温时充入空气后取出样品进行测量。

2.根据权利要求1所述的棱镜的镀膜方法，其特征在于：所述步骤a)中所述清洗液采用碳原子数为2‑6的醇、碳原子数为2‑6的醚或其混合物。

3.根据权利要求2所述的棱镜的镀膜方法，其特征在于：所述步骤a)中所述清洗液采用酒精和乙醚的混合液，所述酒精和乙醚的比例为1‑4，所述酒精和乙醚的质量比浓度均为80％‑100％，清洗时间为1‑10分钟。

4.根据权利要求1所述的棱镜的镀膜方法，其特征在于：所述步骤c)中的所述膜料为MgF₂。

5.根据权利要求1所述的棱镜的镀膜方法，其特征在于：所述步骤d)中所述压强应低于6×10^‑3Pa。