[发明专利]机械手臂装置及机械手臂装置的控制方法

摘要

本发明涉及运送晶圆载具的机械手臂装置的控制方法及机械手臂装置。其中，机械手臂装置包含：机械手臂、夹爪装置、影像采集模块、距离感测单元及控制模块。夹爪装置包含：两个夹爪结构及活动组件。两个夹爪结构与活动组件连接，控制模块能控制两个夹爪结构彼此靠近或是彼此远离。影像采集模块设置于夹爪装置，影像采集模块用以采集晶圆载具的预定范围的影像，而能对应产生影像采集信息。距离感测单元用以感测晶圆载具的多个预定位置，而能对应产生多个距离感测信息。控制模块能根据影像采集信息、多个距离感测信息及数据库中的预定位置信息，对应控制夹爪装置，以使夹爪装置正确地取放晶圆载具。

主权项

1.一种运送晶圆载具的一机械手臂装置的控制方法，其特征在于，所述机械手臂装置的控制方法用于在所述机械手臂装置夹持一晶圆载具前或是将所夹持的所述晶圆载具放下前，控制所述机械手臂装置的位置，所述机械手臂装置的控制方法包含：一影像采集步骤：利用一影像采集模块采集所述晶圆载具的一预定范围的影像，以对应产生一影像采集信息；一比对步骤：利用所述影像采集信息比对一晶圆盒影像信息，并据以产生一影像比对信息；一距离感测步骤：利用设置于所述机械手臂装置的至少一距离感测单元对所述晶圆载具的至少两个位置进行距离感测，以对应产生至少两个距离感测信息；以及一校正步骤：根据所述影像比对信息及至少两个所述距离感测信息控制所述机械手臂装置移动，以校正所述机械手臂装置的夹爪装置与所述晶圆载具的至少一辅助构件之间的相对位置，据以使所述机械手臂装置正确地夹持所述辅助构件。