[发明专利]一种无机光刻胶组合物图案化的方法有效
| 申请号： | 201810037160.1 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN108089404B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 段宣明;金峰;郑美玲;董贤子 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 赵晓丹 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无机光刻胶组合物图案化的方法，采用光源对光刻胶组合物进行图案化；其中，所述光源为波长为250‑2500nm范围的紫外‑可见‑近红外光源；所述无机光刻胶组合物为氢倍半硅氧烷。当所述无机光刻胶组合物曝光时，光与物质的非线性相互作用引起HSQ的交联，交联后的氢倍半硅氧烷HSQ在显影液中不溶解，而未发生交联的HSQ则会溶解在显影液中，从而形成特定的光刻胶图案。这种利用紫外、可见及近红外光曝光实现无机光刻胶HSQ图案化的方法可以应用在微电子技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无机 光刻 组合 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种无机光刻胶组合物图案化的方法，其特征在于，采用光源对光刻胶组合物进行图案化；其中，所述光源为波长为250～2500nm的光；所述无机光刻胶组合物包括氢倍半硅氧烷。
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