[发明专利]ITO脆性材料的加工工具有效
| 申请号： | 201810037662.4 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN108311909B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 郭庆生;余芳;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | B23Q3/06 | 分类号： | B23Q3/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清远市高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明一种ITO脆性材料的加工工具，其包括一主推器、一垫板、一支架。本发明ITO脆性材料的加工工具，针对长的脆性材料，以适当的力度夹持脆性材料，提高了脆性材料的可加工性，良率高，且脆性材料研磨质量稳定。 | ||
| 搜索关键词： | ito 脆性 材料 加工 工具 | ||
【主权项】：
1.一种ITO靶材及相关脆性材料的加工工具，其特征在于：其包括一主推器、一垫板、一支架；所述主推器包括一力杆、连接固定于力杆一端的一圆盘、若干固定螺丝、通过螺丝固定在圆盘另一面的若干爪钩组，每一爪钩组包括若干长度相同的爪钩，不同爪钩组的爪钩的长度不同，每一爪钩包括一直部和一倾斜头；所述垫板上包括前后贯穿的若干第一通孔；所述支架包括第一端、第二端以及连接第一端和第二端的中间部，第一端和第二端上分别包括前后贯穿的若干第二通孔以及在侧面开口的、与第二通孔连通的侧孔，支架还包括能够插入侧孔内的若干圆柱体卡塞，每一卡塞包括一倾斜贯穿的第三通孔，每一爪钩能够前后贯穿第一通孔、第二通孔插入第三通孔内，爪钩同时迫使卡塞向内挤压脆性材料从而固定脆性材料。
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