[发明专利]真空阀的密封件及其制造方法

摘要

一种真空阀，包括阀座，其具有阀开口和第一密封面；并具有封闭元件，该封闭元件具有与第一密封面对应的第二密封面。第一密封面和/或第二密封面具有至少双组分材料复合物，其具有金属支承体部件和基于聚合物的密封材料。密封材料以限定轮廓沿着密封面路线被硬化到支承体部件上。金属支承体部件限定内部支承体区域和外部支承体区域。金属支承体部件具有多个延伸到内部支承体区域中的加深部。密封材料被施加到支承体部件上，使得在外部支承体区域上提供密封材料的限定轮廓，并且密封材料的一部分至少延伸到支承体部件的加深部的一部分中并且将加深部在体积和/或深度方面填充达到至少一半。

主权项

1.一种真空阀，特别是真空调节阀，用于调节体积流或质量流和/或用于气密地中断流动路径，所述真空阀包括：‑阀座(3)，其具有：‑限定了开口轴线(13)的阀开口(2)，和‑周向围绕阀开口(2)的第一密封面，以及‑封闭元件(20，20’)，其具有与所述第一密封面对应的第二密封面(22)，特别地在所述密封面的路线和尺寸方面对应，其中‑所述第一密封面和/或所述第二密封面(22)具有至少双组分的材料复合物并且所述材料复合物具有金属支承体部件(31，41)和基于聚合物的密封材料(25，45)，并且‑所述密封材料(25，45)以限定的轮廓、特别以沿着所述支承体部件的面法线上限定的高度沿着所述密封面路线施加、特别地被硬化到所述支承体部件(31，41)上，其特征在于，‑所述金属支承体部件(31，41)限定内部支承体区域(41a)和外部支承体区域(41b)，‑所述金属支承体部件(31，41)在相应的密封面(32，22)的区域中具有多个延伸到所述内部支承体区域(41a)中的加深部(32a‑32f，42)，其中每个所述加深部(32a‑32f，42)分别限定体积和深度(t)，并且‑所述密封材料(25，45)被施加到所述支承体部件(31，41)上，使得‑在所述外部支承体区域(41b)上提供所述密封材料(25，45)的限定轮廓，并且‑所述密封材料(41’)的一部分至少延伸到所述支承体部件(31，41)的加深部(32a‑32f，42)的一部分中并且将所述一部分加深部在体积和/或深度方面填充达到至少50％，特别地，其中所述双组分材料复合物根据按照权利要求12至14中任一项所述的方法来制造。