[发明专利]校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置及方法有效
| 申请号： | 201810040754.8 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN108287058B | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 韩志刚;季琨皓;沈华;朱日宏;孟令强;孔庆庆;经逸秋;李思宇;杨哲 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置及方法，沿光路依次设置标准平晶、功率衰减平行平板、第一楔板反射镜、第二楔板反射镜、分光镜、波前探测器和动态干涉仪；第二楔板反射镜设置于第一楔板反射镜的反射光路上；分光镜设置于第二楔板反射镜的反射光路上；波前探测器设置于分光镜的透射光路上，动态干涉仪设置于分光镜的反射光路上。装置中标准平晶、功率衰减平行平板、第一楔板反射镜、第二楔板反射镜、分光镜上均镀有特定反射率的膜。本发明可以对高功率激光器M2测量系统中光学元件热形变带来的M2误差进行测量和去除，同时保证测量过程的高速，在高精度的测量中实现光束质量M2的动态测量。 | ||
| 搜索关键词： | 楔板 反射镜 分光镜 高功率激光器 测量系统 反射光 热形变 波前探测器 标准平晶 功率衰减 平行平板 干涉仪 校正 测量 反射镜设置 测量过程 动态测量 光学元件 依次设置 反射率 透射光 光路 去除 保证 | ||
【主权项】：
1.一种校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置，其特征在于：包括标准平晶(1)、功率衰减平行平板(2)、光功率计(3)、第一楔板反射镜(4)、第二楔板反射镜(5)、第一收光器(6)、分光镜(7)、波前探测器(8)和动态干涉仪(9)；沿光路依次设置标准平晶(1)、功率衰减平行平板(2)、第一楔板反射镜(4)、第二楔板反射镜(5)、分光镜(7)、波前探测器(8)和动态干涉仪(9)；光功率计(3)设置于功率衰减平行平板(2)的反射光路上；第一楔板反射镜(4)设置于功率衰减平行平板(2)的透射光路上，第二楔板反射镜(5)设置于第一楔板反射镜(4)的反射光路上，第一收光器(6)设置于第一楔板反射镜(4)的透射光路上；分光镜(7)设置于第二楔板反射镜(5)的反射光路上；经分光镜(7)滤光，波前探测器(8)设置于分光镜(7)的透射光路上，动态干涉仪(9)设置于分光镜(7)的反射光路上。
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