[发明专利]高精度近红外激光光束质量测量分析装置有效
| 申请号： | 201810041239.1 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN108287059B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 沈华;孟令强;韩志刚;朱日宏;季琨皓;孔庆庆;经逸秋;李思宇;杨哲 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 32203 南京理工大学专利中心 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度近红外激光光束质量测量分析装置，沿光路依次放置激光功率可调衰减装置、无像差聚焦透镜、高反镜组、分光镜和两个电荷耦合元件相机。激光功率可调衰减装置由放置在旋转轮上的不同衰减等级的中性密度滤光片组成；第二高反镜放置于第一高反镜的反射光路上，且二者共同放置于可移动导轨上；第一CCD相机放置于分光镜的反射光路上，第二CCD相机放置于分光镜的透射光路上。本发明可以有效抑制硅材质CCD在对近红外光光束质量进行测量时的光晕现象对测量结果的影响，同时测量时间相较传统光束质量测量仪并未增加，在保证测量效率的前提下提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 分光镜 高反镜 光束质量测量 近红外激光 分析装置 激光功率 衰减装置 测量 反射光 可调 中性密度滤光片 电荷耦合元件 可移动导轨 质量测量仪 测量效率 传统光束 光晕现象 近红外光 聚焦透镜 有效抑制 硅材质 透射光 旋转轮 光路 像差 衰减 相机 保证 | ||
【主权项】：
1.一种高精度近红外激光光束质量测量分析装置，其特征在于：包括激光功率可调衰减装置（1）、无像差聚焦透镜（2）、第一高反镜（3-1）、第二高反镜（3-2）、可移动导轨（4）、分光镜（5）、第一电荷耦合元件相机（6-1）和第二电荷耦合元件相机（6-2）；沿光路依次设置激光功率可调衰减装置（1）、无像差聚焦透镜（2）、第一高反镜（3-1）、第二高反镜（3-2）、分光镜（5）和第二电荷耦合元件相机（6-2）；第二高反镜（3-2）设置于第一高反镜（3-1）的反射光路上，且第一高反镜（3-1）和第二高反镜（3-2）均固定于可移动导轨（4）上；第一电荷耦合元件相机（6-1）设置于分光镜（5）的反射光路上，第二电荷耦合元件相机（6-2）设置于分光镜（5）的透射光路上；/n待测激光束经激光功率可调衰减装置（1）衰减后，激光功率达到符合电荷耦合元件相机的功率探测范围，然后经过无像差聚焦透镜（2）后被聚焦，聚焦后的光束经由可移动导轨（4）上的第一高反镜（3-1）和第二高反镜（3-2）反射后入射到分光镜（5）上，经由分光镜（5）分光后，分别入射到第一电荷耦合元件相机（6-1）和第二电荷耦合元件相机（6-2）上；/n所述第一电荷耦合元件相机（6-1）和第二电荷耦合元件相机（6-2）均与分光镜（5）的距离相等；/n所述激光功率可调衰减装置（1）由两个或两个以上带有不同衰减比例的中性密度滤光片的旋转轮组成，旋转轮用齿轮连接马达，实现两个或两个以上的旋转轮上不同中性密度滤光片的自由组合；/n所述分光镜（5）的分光比为1：1；/n所述无像差透镜（2）由经过消像差及色差设计的双胶合透镜组成；/n所述第一电荷耦合元件相机（6-1）和第二电荷耦合元件相机（6-2）的基底材料均为硅材质相机；/n每个位置的测量光斑均是由第一电荷耦合元件相机（6-1）和第二电荷耦合元件相机（6-2）采集的光斑重建而成。/n
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