[发明专利]真空镀膜腔内无线无源温度测量装置及测量方法在审
| 申请号： | 201810043892.1 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108051111A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 陶翔;金浩;王德苗;李东滨;秦正春;冯斌 | 申请（专利权）人： | 浙江大学昆山创新中心 |
| 主分类号： | G01K11/22 | 分类号： | G01K11/22 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，包括置于真空室外的射频读取器、与射频读取器通过接线盘连接的置于真空室内的传输天线和与传输天线无线连接的置于真空室内的传感器单元。测温步骤为a）射频读取器通过传输天线发射一段射频脉冲给传感器单元b）传感器单元接收传输天线电信号并转化为声波信号c）传感器单元的温度变化将改变声波信号d）被改变的声波信号被传感器单元转为新的电信号返回到传输天线；e）射频读取器通过传输天线读取新的电信号f）射频读取器通过分析发送和接收的电信号区别得到传感器单元温度变化信息。本发明解决了传统热电偶温度测量系统无法测量运动对象的缺点，同时具有安装灵活，方便快捷等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 无线 无源 温度 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：包括置于真空室（6）外的射频读取器（5）、与射频读取器（5）通过接线盘连接的置于真空室（6）内的传输天线（4）和与传输天线（6）无线连接的置于真空室（6）内的传感器单元（2）。
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