[发明专利]一种在聚酰亚胺薄膜表面制作微纳结构的方法在审
| 申请号： | 201810044549.9 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108249390A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 高世雄 | 申请（专利权）人： | 高世雄 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在聚酰亚胺薄膜表面制作微纳结构的方法，本发明在母版具有微纳结构的一面生长金属牺牲层，避免了母版和聚酰亚胺的直接接触，有效的延长了母版的使用寿命；使用化学腐蚀法来分离金属牺牲层和聚酰亚胺薄膜，避免了传统的机械分离方法带来的分离困难、容易损伤微纳结构的弊端，有利于提高产品质量；通过在母版具有微纳结构的一面生长金属牺牲层和采用化学腐蚀的分离方法，容易制备大面积的表面具有微纳结构的聚酰亚胺薄膜，有效提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 微纳结构 聚酰亚胺薄膜 母版 金属牺牲层 化学腐蚀法 分离金属 化学腐蚀 机械分离 聚酰亚胺 生产效率 使用寿命 生长 传统的 牺牲层 制备 制作 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种在聚酰亚胺薄膜表面制作微纳结构的方法，包括以下步骤：(1)提供具有微纳结构的母版；(2)在所述母版具有微纳结构的一面生长金属牺牲层；(3)分离所述母版和金属牺牲层，在金属牺牲层生长有微纳结构的一面涂覆聚酰亚胺溶液，固化，在所述金属牺牲层生长有微纳结构的一面形成聚酰亚胺薄膜；(4)采用化学腐蚀法分离所述聚酰亚胺薄膜和金属牺牲层，得到表面具有微纳结构的聚酰亚胺薄膜。
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