[发明专利]一种芯片封装超声波焊接工艺有效
申请号: | 201810045541.4 | 申请日: | 2018-01-17 |
公开(公告)号: | CN108321140B | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 杨吉明;匡华强;范宇;王彦彦;戴亮;卞敏龙;张正贵 | 申请(专利权)人: | 江苏海德半导体有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/495;B23K20/10;B23K3/00 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 陈晓华 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种芯片封装超声波焊接工艺,包括以下步骤:步骤一,植焊球;步骤二,叠球;步骤三,拱丝打点;其中,在向上拱丝拉弧时,首先垂直拉弧一定高度,随后水平拉弧到超出芯片的边缘,最后斜向下拉弧到框架管脚,形成平台线弧;步骤四,将步骤三芯片放入到回流焊机,进行回流焊。本发明工艺中,在向上拱丝拉弧时,首先垂直拉弧一定高度,随后水平拉弧到超出芯片的边缘,最后斜向下拉弧到框架管脚,形成平台线弧,从而不仅能够避免产生三角弧的情况,同时还可以防止线弧形变接触到芯片,有效解决了芯片发生短路的问题。本发明工艺设计合理,适合推广使用。 | ||
搜索关键词: | 拉弧 芯片 超声波焊接工艺 芯片封装 框架管 斜向下 线弧 垂直 工艺设计 回流焊机 有效解决 回流焊 三角弧 短路 打点 放入 焊球 | ||
【主权项】:
1.一种芯片封装超声波焊接工艺,其特征在于:包括以下步骤:步骤一,植焊球:使用球焊机将锡丝进行加热,在芯片每个需要焊线的压区,预植一个锡球;步骤二,叠球:使用球焊机将焊丝进行加热,在锡球上堆叠键合球;步骤三,拱丝打点:堆叠键合球后,向上拱丝拉弧到框架管脚,形成线弧;其中,在向上拱丝拉弧时,首先垂直拉弧一定高度,随后水平拉弧到超出芯片的边缘,最后斜向下拉弧到框架管脚,形成平台线弧;步骤四,将步骤三所得芯片放入到回流焊机,进行回流焊;在步骤三中,水平拉弧的线弧与斜向下拉弧的线弧之间的角度为100‑145度;垂直拉弧的线弧高度在10±0.5mm;线弧的直径在22‑25um之间;在步骤一中,球焊机温度为200±2℃,所述锡球距离焊区中心点偏移量不超过0.3mm;在步骤一中,球焊机的环路高度为5mm,反转高度为11mm,反转距离为79mm,反转角度为‑20度。
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