[发明专利]一种具有强膜基粘附力的金刚石薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种具有强膜基粘附力的金刚石薄膜的制备方法，属于薄膜材料技术领域。本发明将钛片进行砂纸打磨、有机溶剂清洗、混合酸浸泡、去离子水超声波清洗、强碱腐蚀、弱碱浸泡等预处理得到预处理钛片，以预处理钛片为基体，在预处理钛片表面进行微波等离子化学气相沉积金刚石薄膜即得具有强薄膜基体粘附力的金刚石薄膜。本发明制备的金刚石薄膜具有强薄膜基体粘附力，可避免其作为电化学阳极电极在服役过程中金刚石脱落，造成二次污染，降低电极的成本，提高电极使用寿命。

主权项

1.一种具有强膜基粘附力的金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：（1）预处理：将钛片用砂纸打磨处理，依次采用无水乙醇处理、去离子水超声波清洗去除钛片表面粉末，然后置于HF和HNO3的混合酸液中浸泡1~5min并用去离子水清洗干净得到酸处理钛片，将酸处理钛片置于温度为70~100℃的NaOH溶液中进行水热处理2~4h得到水热处理钛片，再将水热处理钛片置于NaHCO3溶液中浸泡1~3h并用沸腾的去离子水清洗干净即得预处理钛片；（2）以步骤（1）所得预处理钛片为基体，在预处理钛片表面进行微波等离子化学气相沉积金刚石薄膜即得具有强薄膜基体粘附力的金刚石薄膜，其中化学气相沉积成核过程的基体温度为500~700℃，腔体压强3~5KPa，微波功率为2100~2600W；化学气相沉积生长过程的基体温度为700~900℃，腔体压强5~7KPa，微波功率为2600~3000W；化学气相沉积的工作气体为甲烷和氢气的混合气体。