[发明专利]一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机

摘要

本发明公开了一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机，包括真空腔室、连续送料机构、横向输送机构、蒸发沉积机构及纵向移动机构；采用连续送料机构实施粉末材料的连续摆动式送料，蒸发沉积机构使得粉末材料充分气化沉积，最终由沉积喷头的小孔喷出，形成莲蓬状的气流均匀沉积在基板上；采用横向输送机构及纵向移动机构控制真空腔室内基板的水平横向运动及控制蒸发沉积机构相对于基板的水平纵向运动，完成蒸发沉积机构的沉积喷头相对于基板进行全平面的镀膜。具有可控性强、膜厚的均匀性好、结构紧凑及工作效率高的优点。

主权项

1.一种大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机，其特征在于它包括真空腔室（1）、连续送料机构（2）、横向输送机构（3）、蒸发沉积机构（4）及纵向移动机构（5）；所述真空腔室（1）为后门板上设有抽真空装置（104）、顶部设有送料机构座（106）、波纹管槽及纵向电机座（107）的矩形腔体；所述连续送料机构（2）由送料支座（201）、弹性波纹管（202）、送料电机（203）及储料腔（205）构成；所述储料腔（205）为一端设有密封法兰上盖（207）及密封法兰螺母（206）、另一端设有阀门开关（208）及波纹管接口的筒体，筒体外侧径向铰接于送料支座（201）上，送料电机（203）设于送料支座（201）上，送料电机（203）的输出轴经曲柄连杆（204）与储料腔（205）的波纹管接口铰接，弹性波纹管（202）的一端设于储料腔（205）的波纹管接口上；所述蒸发沉积机构（4）由保温石墨（401）、螺旋气化管（404）、沉积腔（405）、绝缘石英固定板（409）及石墨加热棒（408）构成；所述沉积腔（405）的周边设有数个惰性气体孔、底部设有沉积喷头（406）；所述保温石墨（401）由三瓣围合成一空心腔体，沉积腔（405）设于空心腔体底部；所述螺旋气化管（404）设于空心腔体内，螺旋气化管（404）的进口端伸出空心腔体顶部，螺旋气化管（404）的出口端设于沉积腔（405）内；所述保温石墨（401）与石英固定板（409）连接；所述石墨加热棒（408）为数根，分别插接在保温石墨（401）腔体的四角部位，石墨加热棒（408）的外侧套装有绝缘氮化硼管（407）；所述水平横向输送机构（3）为横向电机（305）驱动的链条传动（302）机构；所述水平纵向移动机构（5）为纵向电机（501）驱动的丝杆（504）及连接板（508）机构，所述纵向电机（501）的输出端为带轮传动，带轮上设有丝杆（504），连接板（508）上设有滑套、螺母及冷却水道，连接板（508）设于滑杆（506）上，且连接板（508）的滑套与滑杆（506）滑配；所述水平横向输送机构（3）设于真空腔室（1）内的底面上；所述水平纵向移动机构（5）的纵向电机（501）设于真空腔室（1）的纵向电机座（107）上，滑杆（506）连同连接板（508）设于真空腔室（1）内，且滑杆（506）与真空腔室（1）连接；纵向电机（501）经带轮及丝杆（504）与连接板（508）上的螺母啮合；所述蒸发沉积机构（4）设于真空腔室（1）内，且绝缘石英固定板（409）与水平纵向移动机构（5）的连接板（508）连接；所述连续送料机构（2）的送料支座（201）设于真空腔室（1）的送料机构座（106）上，弹性波纹管（202）的另一端穿过波纹管槽与蒸发沉积机构（4）上螺旋气化管（404）的进口端连接。