[发明专利]图像传感器及其形成方法

摘要

本发明提供一种图像传感器及其形成方法，所述图像传感器包括：基底，包括多个像素区域、及位于相邻像素区域之间的第一深沟槽隔离，每个像素区域设置有光电转换元件；滤光层，设置于基底第一表面，包括：格栅，具有多个开口，每个开口对应基底内一个像素区域，以及设置于开口内的滤色元件；多个像素区域包括作为相位检测像素的第一像素区域和第二像素区域，第一像素区域和第二像素区域中分别设置有第二深沟槽隔离，第二深沟槽隔离和光电转换元件在第一表面均具有光接收面，使得入射至第一像素区域和第二像素区域的光一部分入射至光电转换元件的光接收面、另一部分入射至第二深沟槽隔离的光接收面。

主权项

1.一种图像传感器，其特征在于，包括：基底，所述基底中设置有多个像素区域、及位于相邻的像素区域之间的第一深沟槽隔离，每个像素区域中设置有光电转换元件；以及滤光层，设置于所述基底的第一表面，所述滤光层包括：格栅，所述格栅具有多个开口，每个开口对应所述基底内的一个像素区域，以及设置于所述开口内的滤色元件；其中，所述多个像素区域包括作为相位检测像素的第一像素区域和第二像素区域，所述第一像素区域和所述第二像素区域中还分别设置有第二深沟槽隔离，所述第二深沟槽隔离和所述光电转换元件在所述基底的第一表面上均具有光接收面，使得入射至所述第一像素区域和所述第二像素区域的光的一部分能够入射至所述光电转换元件的光接收面、另一部分能够入射至所述第二深沟槽隔离的光接收面。