[发明专利]掩膜板及其制作方法有效
| 申请号： | 201810053569.2 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108193168B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 刘亚红;李俊峰 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 31264 上海波拓知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡光仟<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种掩膜板，包括一体成型的框体，该框体还设有一凹陷部，该凹陷部内设有图案化的网格。通过在一整面的薄板上蚀刻形成凹陷部，凹陷部与环绕在凹陷部设置的框体框为一体成型结构，并在凹陷部上进行图案化处理形成网格，最后在该网格上铺设精密掩膜板。本实施例提供的掩膜板的网格能够更服帖于基板上，相对于现有的掩膜板降低了制作成本，提高了掩膜板的PPA稳定性，解决了由于基板与掩膜板的结合状态不佳造成的混色、彩斑等显示不良问题。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 凹陷部 网格 框体 基板 一体成型结构 蚀刻 图案化处理 一体成型的 不良问题 结合状态 图案化 彩斑 混色 制作 精密 环绕 铺设 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板(100)，其特征在于，包括一体成型的框体(101)，该框体(101)还设有一凹陷部(103)，该凹陷部(103)内形成有图案化的网格(105)；该网格(105)包括第一部分(105a)与第二部分(105b)，该第一部分(105a)包括多条在第一方向上平行分布的条状结构，该第二部分(105b)包括多条在第二方向上平行分布的条状结构，该第一部分(105a)与该第二部分(105b)相互交错形成该网格(105)，该第一方向与该第二方向相垂直；该第一部分(105a)与该第二部分(105b)为一体式结构。/n
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