[发明专利]有机物沉积装置及方法有效
| 申请号： | 201810054447.5 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108374146B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 孙镇石;朴宰奭;全镇弘;金明圭 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 李盛泉;孙昌浩 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施例涉及一种有机物沉积装置及方法。本发明的有机物沉积装置包括：基板支撑部，用于支撑基板；掩膜支撑部，以与所述基板相面对的方式支撑掩膜；蒸发源，以与所述掩膜相面对的方式布置，且加热有机物而使该有机物蒸发；以及掩膜清洗部，布置于所述蒸发源的一侧，且向所述掩膜照射激光。 | ||
| 搜索关键词： | 有机物 沉积 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种有机物沉积装置，包括：基板支撑部，用于支撑基板；掩膜支撑部，以与所述基板相面对的方式支撑掩膜；蒸发源，以与所述掩膜相面对的方式布置，且加热有机物而使该有机物蒸发；以及掩膜清洗部，布置于所述蒸发源的一侧，且向所述掩膜照射激光。
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