[发明专利]涂敷装置以及涂敷方法

摘要

本发明提供涂敷装置以及涂敷方法。在一边以使基板浮起的状态进行搬运，并且使喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向移动，一边从喷嘴的吐出口排出涂敷液并涂敷于基板的涂敷技术中，使涂敷于基板的涂敷液的厚度稳定化。在由基板搬运机构搬运的上述基板的前端到达上述多个孔列中的上述搬运方向上位于最下游的最下游孔列的上方前，开始从上述喷嘴向由上述涂敷浮起部浮起的上述基板排出上述涂敷液，并且，开始使上述喷嘴向上述相逆方向移动。

主权项

1.一种涂敷装置，其特征在于，具备：浮起机构，使基板浮起；基板搬运机构，搬运由所述浮起机构浮起的所述基板；喷嘴，从该喷嘴的排出口向由所述基板搬运机构搬运的所述基板排出涂敷液并涂敷；以及喷嘴移动机构，使正在排出所述涂敷液的所述喷嘴向与所述基板的搬运方向相反的相反方向移动，所述浮起机构具有：涂敷浮起部，所述涂敷浮起部具有沿所述搬运方向排列有多个孔列的面，所述孔列是沿与所述搬运方向正交的宽度方向交替地配置喷出气体的喷出孔以及吸引气体的吸引孔而成的孔列，所述涂敷浮起部使所述基板从所述面浮起，或者，该涂敷浮起部具有沿所述搬运方向交替地排列有沿宽度方向配置多个所述喷出孔而成的孔列和沿所述宽度方向配置多个所述吸引孔而成的孔列的面，所述涂敷浮起部使所述基板从所述面浮起；以及下游侧辅助浮起部，在所述搬运方向上与所述涂敷浮起部的下游侧邻接设置，向所述基板赋予浮起力，在由所述基板搬运机构搬运的所述基板的前端到达多个所述孔列中的在所述搬运方向上位于最下游的最下游孔列的上方前，开始从所述喷嘴向由所述涂敷浮起部浮起的所述基板排出所述涂敷液，并且开始使所述喷嘴向所述相反方向移动。