[发明专利]一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法及装置有效
| 申请号： | 201810059195.5 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN108278492B | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 连海洲;孙效义;薛元 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D3/01 | 分类号： | F17D3/01;F17D1/02;C03B37/01;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，首先获取基准阀与各个调整阀转换所需时间的差值，然后在第一时间后控制基准阀转换开闭状态，同时控制各调整阀在其对应的第二时间后转换开关状态；其中基准阀为若干个截止阀中的任意一个，其余截止阀均为调整阀，第二时间和第一时间的时间差为各个调整阀对应的差值。该方法对各个截止阀开始控制的时间进行调整，抵消了截止阀自身结构造成的转换时间的差异，从而使各个截止阀可同步转换开闭状态，进而保障工艺机台压力的稳定性。本发明还公开了一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，该装置在切换工艺制程过程中反应室压力稳定，产品质量较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保持 工艺 切换 过程 压力 稳定 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，其特征在于，包括：S1、确定若干个截止阀中的任意一个为基准阀，其余均为调整阀，并获取所述基准阀与各个所述调整阀转换开闭状态所需时间的差值；S2、启动计时，控制所述基准阀在第一时间截止时转换开闭状态，控制各所述调整阀在其对应的第二时间后转换开闭状态，其中所述第二时间和所述第一时间的时间差为所述差值。
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