[发明专利]湿度控制装置及其温度控制系统与光刻机台在审
| 申请号： | 201810060863.6 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN108240681A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 骆建钢;黄志凯 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | F24F1/00 | 分类号： | F24F1/00;F24F3/14;F24F11/70;G03F7/20;F24F110/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种湿度控制装置及其温度控制系统与光刻机台，能够调节空调设备所提供的空气的相对湿度，确保生产设备正常工作，提升产品良率。所述湿度控制装置包括控制单元、蒸汽生成单元、蒸汽分布单元和监测单元；所述监测单元用于感知空调设备所提供的空气的湿度，并将感知到的空气的湿度信息提供给控制单元；所述控制单元用于根据接收到的空气的湿度信息控制蒸汽生成单元的输出状态，以此控制蒸汽生成单元向蒸汽分布单元提供的水蒸汽的蒸汽量；所述蒸汽分布单元用于将接收到的水蒸汽提供给空调设备，以使水蒸汽与空调设备所提供的空气进行混合。 | ||
| 搜索关键词： | 空调设备 湿度控制装置 分布单元 蒸汽生成 水蒸汽 蒸汽 温度控制系统 机台 监测单元 湿度信息 光刻 感知 产品良率 生产设备 输出状态 蒸汽量 | ||
【主权项】：
1.一种湿度控制装置，其特征在于，包括控制单元、蒸汽生成单元、蒸汽分布单元和监测单元；所述监测单元用于感知一空调设备所提供的空气的湿度，并将感知到的空气的湿度信息提供给所述控制单元；所述控制单元用于根据接收到的空气的湿度信息，控制所述蒸汽生成单元的输出状态，以此控制所述蒸汽生成单元向所述蒸汽分布单元提供的水蒸汽的蒸汽量；所述蒸汽分布单元用于将接收到的水蒸汽提供给所述空调设备，以使水蒸汽与所述空调设备所提供的空气进行混合。
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