[发明专利]一种具有垂直孔道的SBA-15多孔薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 201810061817.8 申请日: 2018-01-23
公开(公告)号: CN108557837B 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 杨尊先;郭太良;郑康;陆干臻;赵志伟;胡海龙;周雄图;陈耿旭;李福山;林媛媛 申请(专利权)人: 福州大学
主分类号: C01B37/00 分类号: C01B37/00;C01B39/00;B05D1/00;B05D3/00;B05D3/02;B05D5/00;B05D7/24
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 蔡学俊;高辉
地址: 350108 福建省福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种具有垂直孔道的SBA‑15多孔薄膜的制备方法,其以P123、SDS和C16TMAB混合作为三元表面活性剂,以酸化硅酸钠作为硅源,将两者混合制备模板溶液后,利用简单的旋涂成膜工艺技术,在硅片衬底上制备薄膜层,再通过干燥、焙烧除去其中的三元表面活性剂后,经水热处理制得具有垂直孔道的SBA‑15多孔薄膜。本发明制备方法新颖,制作成本低,制备工艺简单,所得具有垂直结构的SBA‑15薄膜能够应用于光电器件和锂电池方面的制备。
搜索关键词: 一种 具有 垂直 孔道 sba 15 多孔 薄膜 制备 方法
【主权项】:
1.一种具有垂直孔道的SBA‑15多孔薄膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤S1:选取一硅片作为SBA‑15多孔薄膜的衬底:步骤S2:制备三元表面活性剂;步骤S3:制备酸化硅酸钠溶液作为SBA‑15多孔薄膜硅源;步骤S4:混合三元表面活性剂和酸化硅酸钠溶液,制备形成薄膜溶液,然后采用旋涂工艺在硅片表面制备薄膜层;步骤S5:通过干燥焙烧除去有机模板剂,制得具有垂直孔道的SBA‑15多孔薄膜。
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