[发明专利]具有新型旋转型光路的快速偏转反射镜装置及测量系统在审
| 申请号： | 201810063289.X | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108089323A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 陈青山;刘力双;耿蕊 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G01B11/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种具有新型旋转型光路的快速偏转反射镜装置。基于PSD的微小角度测量的测量方法中，光程越大，分辨率越高。对于高精度精密测量组件，特别是光机电一体化的快速偏转反射镜组件，有限空间限制了光程长度，角分辨率通常只有十几微弧度，本申请提出的具有新型旋转型光路的快速偏转反射镜装置，充分利用空间，增加光程以提高分辨率。该快速偏转反射镜装置可以有效地提高角分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 快速偏转反射镜 旋转型 光程 光路 角分辨率 分辨率 光机电一体化 微小角度测量 测量系统 精密测量 空间限制 有效地 申请 测量 | ||
【主权项】：
1.一种具有新型旋转型光路的快速偏转反射镜装置，其特征在于，所述装置包括新型旋转型光路和快速偏转反射镜；所述新型旋转型光路包括：激光器、初始反射镜(0)、分束装置、第一反射镜(1)、第二反射镜(2)、第三反射镜(3)、以及测量反射镜/转动反射镜(4)、以及光斑位移传感器；其中，第一反射镜(1)和水平平面之间夹角45°，第二反射镜(2)和第一反射镜(1)之间夹角90°，第三反射镜(3)和第一反射镜(1)平行。
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