[发明专利]一种二次离子探针样品靶的制备方法有效
| 申请号： | 201810063543.6 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108375497B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 张建超;林杨挺;杨蔚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 巴晓艳 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于二次离子探针分析测试领域，具体涉及一种二次离子探针样品靶的制备方法，主要用于提高样品颗粒的平整度以及降低样品靶的放气率。样品靶主要有玻璃片，环氧树脂以及样品颗粒组成。所述方法以圆形玻璃片为主体，首先在玻璃片上切割出数条凹槽，然后将样品颗粒放入凹槽中，进而将环氧树脂注入凹槽中进行固化，固化完成将样品靶进行细磨，抛光。本发明优势主要有两点：1.由于环氧树脂只存在于玻璃的凹槽中，所以样品靶的放气率很低，有利于提高样品室的真空；2.由于玻璃与矿物颗粒（锆石，磷灰石等）的硬度相近，所以在抛光过程中有效保证了矿物颗粒，环氧树脂以及玻璃处于相同平面，有效提高矿物颗粒边缘的平整度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二次 离子 探针 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二次离子探针样品靶的制备方法，其特征在于，以玻璃片为基体，矿物颗粒嵌于玻璃片内进行细磨抛光,从而改善矿物颗粒的平整度和降低样品靶在真空中的放气率。
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