[发明专利]泡沫金属制备装置及制备方法有效
| 申请号： | 201810065456.4 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN110066935B | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘源;万坦;陈祥;张华伟 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C22C1/08 | 分类号： | C22C1/08;C23C14/32;C23C14/20;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王赛 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 提供一种泡沫金属制备装置，一种泡沫金属制备装置，包括抽真空装置、腔室、靶材托件、引弧器及工件架，所述抽真空装置用于对腔室进行抽真空处理，所述靶材托件置于所述腔室内部用于承置金属靶材，所述引弧器与所述靶材托件电连接，用于激发所述金属靶材产生金属离子形成弧光放电，所述工件架置于所述腔室内部，所述工件架包括架体、第一转动轴和第二转动轴，所述第二转动轴设置在所述架体上，所述第一转动轴用于带动所述架体和所述第二转动轴整体旋转，所述第一转动轴与所述第二转动轴的轴线不重合。还提供一种用上述装置制备泡沫金属的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 泡沫 金属 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种泡沫金属制备装置，包括抽真空装置、腔室、靶材托件、引弧器及工件架，所述抽真空装置用于对腔室进行抽真空处理，所述靶材托件置于所述腔室内部用于承置金属靶材，所述引弧器与所述靶材托件电连接，用于激发所述金属靶材产生金属离子形成弧光放电，所述工件架置于所述腔室内部，其特征在于：所述工件架包括架体、第一转动轴和第二转动轴，所述第二转动轴设置在所述架体上，所述第一转动轴用于带动所述架体和所述第二转动轴整体旋转，所述第一转动轴与所述第二转动轴的轴线不重合。
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