[发明专利]用于表面处理的设备和方法在审
| 申请号： | 201810074656.6 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108342701A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 谢尔盖·米克海洛夫 | 申请（专利权）人： | 谢尔盖·米克海洛夫 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C16/513 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 殷超;谭祐祥 |
| 地址： | 瑞士纳*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于涂覆零件的设备，包括沉积腔室（1）和用于同时或连续地向所述沉积腔室提供涂覆材料的多个涂覆装备（2、3），其中所述涂覆装备中的至少一个（2）是金属过滤电弧离子源，所述涂覆装备中的至少另一个（3）是激光烧蚀源，并且所述涂覆装备中的至少两个经由连接凸缘（10）可移除地连接到所述沉积腔室。所述凸缘中的至少两个是相同的，使得一个所述涂覆装备（2、3）能够经由不同的凸缘连接到所述沉积腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 涂覆 沉积腔室 电弧离子源 激光烧蚀 金属过滤 连接凸缘 凸缘连接 涂覆材料 地连接 可移除 凸缘 | ||
【主权项】：
1.一种用于涂覆零件的设备，包括沉积腔室和多个涂覆装备，所述多个涂覆装备用于同时或连续地向所述沉积腔室提供涂覆材料，其中所述涂覆装备中的至少一个是具有激光点火的电弧碳源，所述电弧碳源之后是磁力和静电宏观粒子过滤器，其特征在于，所述涂覆装备中的至少两个经由连接凸缘可拆卸地连接到所述沉积腔室。
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