[发明专利]蒸镀坩埚和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201810076385.8 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108048800B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 李朝 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供一种蒸镀坩埚及所述蒸镀设备，所述蒸镀坩埚用以蒸镀蒸发源材料，其包括：坩埚本体、设于所述坩埚本体上的多个间隔设置的喷嘴和盖设于每个所述喷嘴上的喷嘴帽组；所述坩埚本体包括与所述喷嘴连通的收容腔，所述蒸发源材料放置于所述收容腔内；所述喷嘴帽组包括同轴套设且可拆分的多个喷嘴帽，每个所述喷嘴帽上设有与所述喷嘴连通的通孔，所述通孔的孔径大小由最外部的所述喷嘴帽向内部的所述喷嘴帽方向依次增大，且多个所述通孔连通。所述蒸镀坩埚可以快速调节具有不同孔径大小的通孔的喷嘴帽，以显著提高蒸镀速率。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀坩埚，用以蒸镀蒸发源材料，其特征在于，包括：坩埚本体、设于所述坩埚本体上的多个间隔设置的喷嘴和盖设于每个所述喷嘴上的喷嘴帽组；所述坩埚本体包括与所述喷嘴连通的收容腔，所述蒸发源材料放置于所述收容腔内；所述喷嘴帽组包括同轴套设且可拆分的多个喷嘴帽，每个所述喷嘴帽上设有与所述喷嘴连通的通孔，所述通孔的孔径大小由最外部的所述喷嘴帽向内部的所述喷嘴帽方向依次增大，且多个所述通孔连通，每个所述喷嘴帽上的所述通孔对应一个孔径的喷嘴口。/n
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