[发明专利]利用掩膜板图形转移制备具有规则褶皱的可拉伸器件的方法

摘要

本发明公开了利用掩膜板图形转移制备具有规则褶皱的可拉伸器件的方法，属于可拉伸器件的制备技术领域，本发明利用具有周期性条纹图案的掩膜板，在弹性衬底上引入一组具有相同条纹图案的金属薄膜隔离层，形成包含粘合区(粘性的弹性衬底表面)和非粘合区(无粘性的金属薄膜表面)的复合弹性衬底。将此复合弹性衬底预拉伸到一定应变量，然后将超薄柔性有机光电器件集成至处于拉伸状态下的复合弹性衬底表面，并释放拉伸应力。由于超薄柔性有机光电器件无法与复合衬底表面上的条状非粘合区进行粘合，因此器件上的对应区域在拉伸应力释放后自然隆起，最终形成大面积的具有周期性规则褶皱的可拉伸器件。

主权项

1.利用掩膜板图形转移制备具有规则褶皱的可拉伸器件的方法，其特征在于，具体步骤如下：(1)、利用掩膜板沉积金属薄膜隔离层；首先，用3M塑料胶带在弹性衬底上限制出工作区，用掩膜板完全覆盖工作区并使二者无缝贴合；然后，将覆盖有掩膜板的弹性衬底置于真空蒸镀系统中，进行金属薄膜蒸镀，使得掩膜板的图案被复制至弹性衬底工作区；其中，掩膜板为具有周期性条纹图案的掩膜板；最后，将蒸镀完毕的弹性衬底取出，剥离弹性衬底上方的掩膜板，得到具有周期性金属条纹的弹性衬底；(2)、制备具有规则褶皱的超薄柔性可拉伸有机光电器件；首先，将步骤(1)得到的具有周期性金属条纹的弹性衬底沿其工作区短轴方向进行拉伸，并保持拉伸状态；然后，取超薄柔性有机光电器件粘贴至处于拉伸状态下的弹性衬底工作区，使器件的柔性衬底下表面与工作区完全贴合；并保证超薄柔性有机器件只与工作区中的粘合区进行粘合，而不与覆盖有条状金属隔离膜的非粘合区粘合；最后，释放弹性衬底上的拉伸应力，弹性衬底收缩并使得超薄柔性有机器件未与工作区粘合的部分随之发生弯曲，向上拱起并形成周期性褶皱，最终获得具有规则褶皱的超薄柔性可拉伸有机光电器件。