[发明专利]一种金刚线切割的多晶硅酸制绒添加剂及使用方法在审
| 申请号： | 201810078024.7 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN109778320A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 沈雪春;柳杉 | 申请（专利权）人： | 上海创畅新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 202150 上海市崇明区横沙乡富民*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种金刚线切割的多晶硅酸制绒添加剂及使用方法，包括有添加剂和酸制绒液混合制成，所述添加剂由磺酸盐、全氟烷基聚氧乙烯醚、有机酸或其盐类中的一种或几种和超纯水混合而成；所述添加剂的成分比例为：磺酸盐的质量分数为1‑10％，全氟烷基聚氧乙烯醚的质量分数为0.01‑1％，有机酸或其盐类的质量分数为2‑10％，其余为超纯水；所述酸制绒液的成分比例为：硝酸质量分数为15‑50％，氢氟酸质量分数为5‑30％，其余为超纯水。本发明和现有技术相比，其优点在于：使用本添加剂后绒面(腐蚀坑洞)更加均匀，并且绒面更加细小，与未使用添加剂酸制绒制得硅片相比，反射率降低5‑6％。 | ||
| 搜索关键词： | 添加剂 质量分数 酸制绒 超纯水 聚氧乙烯醚 全氟烷基 多晶硅 磺酸盐 线切割 有机酸 反射率 氢氟酸 未使用 硝酸 硅片 后绒 坑洞 绒面 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种金刚线切割的多晶硅酸制绒添加剂，其特征在于，包括有添加剂和酸制绒液混合制成，所述添加剂由磺酸盐、全氟烷基聚氧乙烯醚、有机酸或其盐类中的一种或几种和超纯水混合而成；所述添加剂的成分比例为：磺酸盐的质量分数为1‑10％，全氟烷基聚氧乙烯醚的质量分数为0.01‑1％，有机酸或其盐类的质量分数为2‑10％，其余为超纯水；所述酸制绒液的成分比例为：硝酸质量分数为15‑50％，氢氟酸质量分数为5‑30％，其余为超纯水。
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