[发明专利]一种湿法黑硅制备方法有效
| 申请号： | 201810079181.X | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108277529B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 朱姚培;王磊;蒋健;唐磊;陈桂宝 | 申请（专利权）人： | 江苏荣马新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B33/10 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 223700 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于黑硅技术领域，具体涉及一种湿法黑硅制备方法所述制备方法按照如下步骤：步骤1，将硅片表面涂覆刻蚀液，静置加热反应10‑30min；步骤2，将刻蚀后的硅片放入蒸馏水中超声反应20‑40min，取出后烘干；步骤3，将步骤2中的硅片放入硝酸银和硝酸铜混合液中超声反应10‑15min，加入氢氟酸浸泡1‑3h，得到沉积硅片；步骤4，将沉积硅片放入氢氟酸与双氧水的混合溶液中，微波反应2‑4h，得到刻蚀硅片；步骤5，将刻蚀硅片表面清洗干净，得到黑硅。本发明解决了现有技术工艺复杂的问题，大大降低了工艺难度，减少了添加剂的使用，不仅增加了工作效率，也提高了产品稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种湿法黑硅制备方法，其特征在于：所述制备方法按照如下步骤：步骤1，将硅片表面涂覆刻蚀液，静置加热反应10‑30min；步骤2，将刻蚀后的硅片放入蒸馏水中超声反应20‑40min，取出后烘干；步骤3，将步骤2中的硅片放入硝酸银和硝酸铜混合液中超声反应10‑15min，加入氢氟酸浸泡1‑3h，得到沉积硅片；步骤4，将沉积硅片放入氢氟酸与双氧水的混合溶液中，微波反应2‑4h，得到刻蚀硅片；步骤5，将刻蚀硅片表面清洗干净，得到黑硅。
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