[发明专利]含有晶圆透镜的光学投影装置在审
申请号: | 201810079275.7 | 申请日: | 2018-01-26 |
公开(公告)号: | CN108255000A | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 邓想全;许星 | 申请(专利权)人: | 深圳奥比中光科技有限公司 |
主分类号: | G03B21/00 | 分类号: | G03B21/00;G02B27/18 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种含有晶圆透镜的光学投影装置,包括,光源,固定在基底上,用于发射光束;透镜系统,包括至少一个晶圆透镜,或者还包括普通光学透镜,设置在所述基底上方,用于接收所述光源发射的光束并向外投射平行光束;衍射光学元件,设置在所述透镜系统的上方,接收所述平行光束并向外投射图案化光束。光学投影装置的透镜系统由晶圆透镜或者晶圆透镜和普通光学透镜构成,有利于进一步缩小透镜系统的空间尺寸,以便实现结构紧凑的光学投影装置;通过外壳封装晶圆透镜的办法,降低光源、晶圆透镜、普通透镜之间的对准难度,在确保光学投影装置产能的同时,保证光学投影装置所投射图案化光束的质量。 | ||
搜索关键词: | 晶圆透镜 光学投影装置 透镜系统 光学透镜 平行光束 投射图案 基底 光源 衍射光学元件 透镜 发射光束 光源发射 外壳封装 投射 产能 对准 保证 | ||
【主权项】:
1.一种含有晶圆透镜的光学投影装置,其特征在于,包括,光源,固定在基底上,用于发射光束;透镜系统,包括晶圆透镜和普通光学透镜,通过镜筒设置在所述基板上方,用于接收所述光源发射的光束并向外投射平行光束;衍射光学元件,设置在所述透镜系统的上方,接收所述平行光束并向外投射图案化光束。
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