[发明专利]抓取和安放装置有效
申请号: | 201810082370.2 | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN108288602B | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
发明(设计)人: | 袁多胜;赵明 | 申请(专利权)人: | 英特尔产品(成都)有限公司;英特尔公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677 |
代理公司: | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人: | 杨胜军 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供一种抓取和安放装置,包括:背板组件;设置在背板组件上的第一吸附组件,第一吸附组件至少包括第一驱动机构和第一吸嘴,第一吸嘴能够被第一驱动机构驱动以便在竖直方向移动;相对于第一吸附组件在水平方向可移动地设置在背板组件上的第二吸附组件,第二吸附组件至少包括第二驱动机构和第二吸嘴,第二吸嘴能够被第二驱动机构驱动以便在竖直方向移动;用于驱动第二吸附组件相对于第一吸附组件在水平方向移动的第三驱动机构;以及可调节限位机构,通过转动可调节限位机构的一部分能够将第一吸嘴与第二吸嘴选择性地保持在至少两个不同的间距位置处。根据本发明可以显著地提高生产效率、并且降低备件采购成本和备件管理成本。 | ||
搜索关键词: | 吸附组件 吸嘴 背板组件 驱动机构 可调节限位机构 第一驱动机构 竖直方向移动 抓取 安放装置 驱动 可移动地设置 水平方向移动 备件采购 备件管理 间距位置 生产效率 转动 | ||
【主权项】:
1.一种抓取和安放装置(1),包括:背板组件(3);设置在所述背板组件(3)上的第一吸附组件(5),所述第一吸附组件(5)至少包括第一驱动机构和第一吸嘴,所述第一吸嘴能够被所述第一驱动机构驱动以便在竖直方向移动;相对于所述第一吸附组件(5)在水平方向可移动地设置在所述背板组件(3)上的第二吸附组件(7),所述第二吸附组件(7)至少包括第二驱动机构和第二吸嘴,所述第二吸嘴能够被所述第二驱动机构驱动以便在竖直方向移动;用于驱动所述第二吸附组件(7)相对于所述第一吸附组件(5)在水平方向移动的第三驱动机构;以及可调节限位机构(37),通过转动所述可调节限位机构(37)的一部分能够将所述第一吸嘴与所述第二吸嘴选择性地保持在至少两个不同的间距位置处。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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