[发明专利]基于多向倾斜载频的非零位新型点衍射干涉测量系统

摘要

本发明提出了一种基于多向倾斜载频的非零位新型点衍射干涉测量系统，包括线偏振激光光源、光纤耦合器模块、光纤阵列、待测件以及干涉图像采集系统，所述偏振激光光源、光纤耦合器模块、光纤阵列依次共第一光轴设置，所述待测件位于第二光轴，第二光轴与第一光轴夹角为每根光纤出射光束发散角的四分之一，所述待测件的最佳拟合球面曲率中心与光纤阵列端面中心重合。本发明利用光纤阵列构成点衍射阵，产生多向倾斜载频的波面补偿被测件表面梯度，解决干涉法测量复杂面形元件时干涉条纹密度过大，无法解算的问题。

主权项

1.一种基于多向倾斜载频的非零位新型点衍射干涉测量系统，其特征在于，包括线偏振激光光源(1)、光纤耦合器模块(2)、光纤阵列(3)、待测件(4)以及干涉图像采集系统，所述偏振激光光源(1)、光纤耦合器模块(2)、光纤阵列(3)依次共第一光轴设置，所述待测件(4)位于第二光轴，第二光轴与第一光轴夹角为每根光纤出射光束发散角的四分之一，所述待测件(4)的最佳拟合球面曲率中心与光纤阵列(3)端面中心重合；光纤激光器(1)发出的线偏振激光由光纤导入光纤耦合器模块(2)，光纤耦合器模块(2)将一束激光分成若干束激光，若干束激光导入光纤阵列(3)，生成若干个标准球面波，其中一部分标准球面波作为参考光进入干涉图采集系统，另一部分标准球面波作为测试光入射到被测件(4)，测试光依次经被测件(4)、光纤阵列(3)反射进入干涉图采集系统，参考光与测试光在干涉图采集系统中形成移相干涉图。