[发明专利]磁控溅射设备及其遮挡板组件有效
| 申请号： | 201810084682.7 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN108277465B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 毛瑞锋;金相起;程贯杰;李阳阳;宋朱晓;杨磊;王宜申;候建新;李智 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;G08B21/00 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄;王卫忠 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种磁控溅射设备及其遮挡板组件，其中遮挡板组件包括相互搭接的第一遮挡板和第二遮挡板，第一遮挡板和第二遮挡板设置为弧形结构，第一遮挡板的圆心与第二遮挡板的圆心分别设置于遮挡板组件的两侧。由于第一遮挡板和第二遮挡板预先设置为弧形结构，有利于遮挡板自身内力的释放，从而可以降低遮挡板变形的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 设备 及其 遮挡 组件 | ||
【主权项】：
1.一种遮挡板组件，包括相互搭接的第一遮挡板和第二遮挡板，其特征在于，所述第一遮挡板和/或所述第二遮挡板设置为弧形结构，所述第一遮挡板的圆心与所述第二遮挡板的圆心分别设置于所述遮挡板组件的两侧。
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