[发明专利]一种用于晶体直径测量的自动校准方法及校准系统在审
| 申请号： | 201810084837.7 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN110093663A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于晶体直径测量的自动校准方法及校准系统，所述校准方法包括：提供长晶炉，所述长晶炉的上方设置有第一校准CCD相机、第二校准CCD相机以及测量CCD相机；在长晶过程中，通过所述测量CCD相机获取晶体的直径；由所述第一校准CCD相机和所述第二校准CCD相机分别捕捉所述晶体关于圆心对称的两个边缘，以获取所述晶体的实测直径；利用所述实测直径对所述测量直径进行校准。本发明提供的用于晶体直径测量的自动校准方法及校准系统，模拟了人工校准直径的方法，自动对晶体直径进行实时在线校准，从而精确控制晶体直径，有效降低成本，增加长晶的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 校准系统 直径测量 自动校准 测量 长晶炉 晶体的 实测 有效降低成本 控制晶体 实时在线 圆心对称 捕捉 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶体直径测量的自动校准方法，其特征在于，所述方法包括：提供长晶炉，所述长晶炉的上方设置有第一校准CCD相机、第二校准CCD相机以及测量CCD相机；在长晶过程中，通过所述测量CCD相机获取晶体的直径；由所述第一校准CCD相机和所述第二校准CCD相机分别捕捉所述晶体关于圆心对称的两个边缘，以获取所述晶体的实测直径；利用所述实测直径对所述测量直径进行校准。
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