[发明专利]图像传感器及形成图像传感器的方法在审

专利信息
申请号: 201810086094.7 申请日: 2018-01-30
公开(公告)号: CN108281446A 公开(公告)日: 2018-07-13
发明(设计)人: 吕相南;北村阳介;黄晓橹 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 田菁
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本公开涉及一种图像传感器,包括:半导体衬底,所述半导体衬底中形成有各像素单元的光电二极管和浮置扩散区;第一晶体管层,所述第一晶体管层位于所述半导体衬底之上,所述第一晶体管层中形成有第一晶体管的栅极,所述第一晶体管的栅极用于控制将所述光电二极管中的电荷传输到所述浮置扩散区中;以及第二晶体管层,所述第二晶体管层位于所述第一晶体管层之上,所述第二晶体管层中形成有第二晶体管,其中,所述第一晶体管层与所述第二晶体管层为不同的层。本公开还涉及一种形成图像传感器的方法。本公开能够提高光电二极管的填充率。
搜索关键词: 晶体管层 图像传感器 光电二极管 晶体管 衬底 半导体 浮置扩散区 电荷传输 像素单元 填充率
【主权项】:
1.一种图像传感器,其特征在于,包括:半导体衬底,所述半导体衬底中形成有各像素单元的光电二极管和浮置扩散区;第一晶体管层,所述第一晶体管层位于所述半导体衬底之上,所述第一晶体管层中形成有第一晶体管的栅极,所述第一晶体管的栅极用于控制将所述光电二极管中的电荷传输到所述浮置扩散区中;以及第二晶体管层,所述第二晶体管层位于所述第一晶体管层之上,所述第二晶体管层中形成有第二晶体管,其中,所述第一晶体管层与所述第二晶体管层为不同的层。
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