[发明专利]一种离子液体电沉积电镀装置及其方法

摘要

本发明涉及一种离子液体电沉积电镀装置，包括第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室、第一密封门、第二密封门、第三密封门、第四密封门、机械手、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、真空泵、第一平行气体阀门、第二平行气体阀门、第一保护气体阀、第二保护气体阀、第三保护气体阀和保护气体源，整体结构设计合理，工件首先在第一隔离室脱水脱氧处理后，之后进入第二隔离室作离子液体电沉积电镀处理，最后进入第三隔离室作清洗处理，全过程在密封无氧无水环境下进行，无需人工操作自动化程度高，电脑控制提高了设备的可控性和灵活性，使用范围广操作简单实用。

主权项

1.一种离子液体电沉积电镀装置，其特征在于：包括第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室、第一密封门、第二密封门、第三密封门、第四密封门、机械手、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、真空泵、第一平行气体阀门、第二平行气体阀门、第一保护气体阀、第二保护气体阀、第三保护气体阀和保护气体源，第一隔离室内部安装前处理槽, 第二隔离室内部安装液态离子电镀槽，第三隔离室安装溶剂清洗槽，第一密封门安装在第一隔离室侧方控制外部空间连通第一隔离室，第二密封门安装在第一隔离室与第二隔离室之间控制第一隔离室连通第二隔离室，第三密封门安装在第二隔离室与第三隔离室控制第二隔离室连通第三隔离室，第四密封门安装在第三隔离室侧方控制外部空间连通第三隔离室，第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室内部分别安装有一夹取输送工件的机械手，第一隔离室上方通过管路连接第一真空阀门，第二隔离室上方通过管路连接第二真空阀门，第三隔离室上方通过管路连接第三真空阀门，第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门通过管路分别连接真空泵，第一隔离室、第二隔离室之间通过管路连接第一平行气体阀门，第一平行气体阀门控制第一隔离室、第二隔离室气压相等，第二隔离室、第三隔离室之间通过管路连接第二平行气体阀门，第二平行气体阀门控制第二隔离室、第三隔离室气压相等，第一隔离室下方通过管路连接第一保护气体阀，第二隔离室下方通过管路连接第二保护气体阀，第三隔离室下方通过管路连接第三保护气体阀，第一保护气体阀、第二保护气体阀、第三保护气体阀通过管路分别连接保护气体源。